登入帳戶　 |　訂單查詢　 |　購物車/收銀台(0)　|　在線留言板　 |　付款方式　 |　運費計算　 |　聯絡我們　 |　幫助中心　|　 加入書簽
會員登入   新用戶登記
HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2024年度TOP分類瀏覽雜誌 臺灣用戶
品種：超過100萬種各類書籍/音像和精品，正品正價，放心網購，悭钱省心 服務：香港／台灣／澳門／海外 送貨：速遞／郵局／服務站

新書上架：簡體書 繁體書
暢銷書架：簡體書 繁體書
好書推介：簡體書 繁體書

八月出版：大陸書 台灣書
七月出版：大陸書 台灣書
六月出版：大陸書 台灣書
五月出版：大陸書 台灣書
四月出版：大陸書 台灣書
三月出版：大陸書 台灣書
二月出版：大陸書 台灣書
一月出版：大陸書 台灣書
12月出版：大陸書 台灣書
11月出版：大陸書 台灣書
十月出版：大陸書 台灣書
九月出版：大陸書 台灣書
八月出版：大陸書 台灣書
七月出版：大陸書 台灣書
六月出版：大陸書 台灣書

『簡體書』高端光刻机像质检测技术（上册）

書城自編碼： 3615029
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→機械/儀表工業
作者： 王向朝等
國際書號(ISBN)： 9787030673541
出版社： 科学出版社
出版日期： 2021-04-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开 釘裝： 精装

售價：HK$ 310.0

我要買 件

share:

** 我創建的書架 **
未登入.


新書推薦：
裘锡圭学术文集（全六卷）
《 裘锡圭学术文集（全六卷） 》
售價：HK$ 1078.0
从马可波罗到马戛尔尼：十三世纪以降的欧亚世界
《 从马可波罗到马戛尔尼：十三世纪以降的欧亚世界 》
售價：HK$ 74.8
抗日战争时期中英借款交涉研究
《 抗日战争时期中英借款交涉研究 》
售價：HK$ 86.9
大学问·中国城市史研究系列 茶馆 天津工人 晚清中国城市的水与电 亦官亦商（套装共4册）
《 大学问·中国城市史研究系列 茶馆 天津工人 晚清中国城市的水与电 亦官亦商（套装共4册） 》
售價：HK$ 389.4
索恩丛书·信仰与权力：阿拉伯世界的裂变与重生
《 索恩丛书·信仰与权力：阿拉伯世界的裂变与重生 》
售價：HK$ 141.9
哲学之旅（第8版）：一种互动性探究（最新完整版，2025中国-东盟影响力图书）
《 哲学之旅（第8版）：一种互动性探究（最新完整版，2025中国-东盟影响力图书） 》
售價：HK$ 164.8
何以为帝：雍正继位新探（清史泰斗冯尔康，从继位疑案读懂中国封建皇权，看清人性与制度的极致博弈）
《 何以为帝：雍正继位新探（清史泰斗冯尔康，从继位疑案读懂中国封建皇权，看清人性与制度的极致博弈） 》
售價：HK$ 74.8
元照英美法词典（简装学生版）
《 元照英美法词典（简装学生版） 》
售價：HK$ 108.9

內容簡介：
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

 

 

書城介紹　 |　合作申請　|　索要書目　 |　新手入門　|　聯絡方式　 |　幫助中心　|　找書說明　 |　送貨方式　|　付款方式 香港用户　 |　台灣用户　|　海外用户
megBook.com.hk
Copyright © 2013 - 2025 （香港）大書城有限公司　 All Rights Reserved.